今日说明-宁波气相沉积炉操作(2023已更新)(今日/产品)

楼主:八佳电气 时间:2023-02-02 02:52:29
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今日说明-宁波气相沉积炉操作(2023已更新)(今日/产品),公司于2000年荣获洛阳市质量管理协会“创名优保质产品”称号;2002年至今被认定为河南省“高新技术企业”;2004年被河南省商务厅批准,拥有“自营进出口企业”资格;2006至2015年持续通过ISO9001质量管理体系认证。

今日说明-宁波气相沉积炉操作(2023已更新)(今日/产品), Array生产车间负责阵列基板的生产,包括玻璃基板清洗、化学气相沉积、溅射、光刻、刻蚀、剥离等工序。Array工艺使用外购的专用玻璃基板,充分清洗后在其清洁干净的表面上通过化学气相沉积(CVD)的方法形成半导体膜或绝缘膜,通过溅射镀膜的方法形成金属膜。然后对栅电极及引线、有源层孤岛、源漏电极及引线、接触过孔、像素电极,经光刻胶涂敷、光刻胶曝光、显影等光刻工艺并经湿法刻蚀、干法刻蚀后,剥离掉多余的光刻胶,经热处理把半导体特性作均一化处理后即做成阵列玻璃基板。Array工艺中使用大量的化学品和特气,产生大量VOCs和废气,是整个生产过程中污染物的重要来源。CF是TFT-LCD的重要组成部分,CF的质量直接影响TFT-LCD性能。CF基本结构是由玻璃基板(Glass Substrate)、黑色矩阵(Black Matrix)、彩色层(Color Layer)、保护层(Over Coat)及ITO导电膜组成。Cell生产车间负责制屏工序,即负责配向膜(PI)涂敷、固化、摩擦、封框胶及导通材涂布、液晶滴下、紫外及热固化、切割、磨边、测试等各工序的生产。Module车间负责模块的生产,包括偏光片贴敷、TCP焊接、PCB焊接、焊接检查、老化、返修、自动包装等工序。

尽管日本正式将韩国移出了对外贸易白名单,管制对韩国出口光刻胶、氟化聚酰亚胺和等重要材料,但是日本方面近也审批了新的对韩出口,光刻胶、两种产品都批准出口了。高纯度的电子级是氟精细化学品的一种,在半导体制造工艺中主要用于去除膜沉积后粘附在化学气相沉积炉内的不必要化学物质、等离子刻蚀、光刻胶图案化之后的蚀刻细槽或孔等流程,是一种半导体生产中非常重要的原材料,日本在这个领域占据主要份额。但是日本的制裁使得韩国对日本供应链产生了惕,即便可以进口,星、SK海力士及LG等还是会替换日本材料。日前韩国媒体报道称,LG旗下的LG Display已经测试成功了韩国产,并开始应用于工业生产,这比原先预计的时间提早了一个月多。

今日说明-宁波气相沉积炉操作(2023已更新)(今日/产品), 3.2 有毒废气处置结果有毒废气主要来自化学气相沉积(CVD)和干法刻蚀(DE)等工序中使用SiHNHPHNFSFN2O、Cl2等特殊气体,除部分在工艺中反应消耗外,少量以尾气的形式排放,主要污染物为、氨气、、氟化物、氮氧化物等。毒排废气采用电除尘+酸碱中和的形式(见图2),各项指标都有90%以上的去除率,能够使废气中的污染物达标排放。对处置后烟气中的氮氧化物、氟化物、氨、、进行检测(见表4),各污染物排放值均达到《大气污染物排放标准》(GB 16297—1996)中表2的级标准和《恶臭污染物排放标准》(GB 14554—1993)中表2的标准要求。

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