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长春硅反射镜(2022更新中)(今日/展示)

作者:197gro 时间:2022-12-05 05:11:05

长春硅反射镜(2022更新中)(今日/展示),缺芯少屏是国内制造业大的痛,芯片领域难的就是光刻机的制造,光刻机中的光学系统使用了大量的非球面,非球面的精度要求非常高,因此需要更高精度的检测用具,CGH可有效配合其他检测方法完成高精度非球面光刻物镜的检测。

30)基于MEMS技术体硅工艺,提出一种新型大有效面积的连续变形反射镜的设计制造方法。

每种颜色具有不同的强度或者振幅,这就像音乐中的泛音是由许多具有不同音量的单音符组成。当被定向到纳米柱蚀刻的硅表面上时,不同的频率分量照射不同组的纳米柱。每组纳米柱经过定制后,以特定的方式改变频率分量的相位、强度或者电场方向(偏振)。然后,第个衍射光栅再将所有的频率分量重新结合起来,创造出新成形的光线。下图为脉冲成形装置的详细示意图。一个入射光脉冲(左)衍射通过光栅,光栅将脉冲分散成各种的频率和颜色。然后,一个抛物面反射镜将分散的光线重新定向到一个蚀刻有数百万个微柱的硅表面中。纳米柱经过特殊设计,从而同时且独立地操控每个频率分量的特性,例如振幅、相位或者偏振。第个抛物面反射镜和衍射光栅将分开的频率分量重新结合成一个新形成的脉冲(右)。

长春硅反射镜(2022更新中)(今日/展示), 车载激光雷达扫描微镜要了解MEMS扫描微镜(也叫MEMS振镜或扫描芯片)在车载激光雷达中的应用,还要从应用比较广泛的激光扫描投影MEMS微镜说起。MEMS微镜是一个硅结构的微型机械装置,采用光学MEMS技术制造,是将微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。

据美国国家航空航天局(NASA)2月7日报道,NASA戈达德航天飞行中心科学家多次重复实验证明,单晶硅可用来制造超轻超薄、高分辨率X射线反射镜,从而将大大降低太空望远镜的建造成本。据美国太空网25日报道,美国国家航空航天局(NASA)开发的创新型人工智能(AI)工具犹如“火眼金睛”,帮助科学家在火星上发现了过去10年中形成的一系列陨石坑。

长春硅反射镜(2022更新中)(今日/展示), 伴随着成功而来的,是接踵而至的难题:碳化硅硬度仅次于金刚石,其磨削抛光至纳米表面精度难度极大。从镜坯转变为反射镜,需要靠光学加工、改性和镀膜,不仅国内现有的光学加工设备无法满足要求,国际上也没有可引进的此类装备。张学军介绍,长春光机所研制出适用于大口径碳化硅高精度制造的非球面数控加工中心,采用应力盘抛光、磁流变抛光等组合加工技术,在反射镜表面镀制和碳化硅相近的硅改性层,在此基础上进行精抛光,来达到非球面的制造精度、提升加工效率,实现了加工与检测技术自主可控。张学军说:“反射面镀膜的反射率达到95%以上,整体指标达到望远系统的要求,这相当于太空探测拍摄的图片质量,由‘卡片机’升级到加了一个高质量成像镜头的‘单反相机’。” 长春硅反射镜(2022更新中)(今日/展示)

伴随着成功而来的,是接踵而至的难题:碳化硅硬度仅次于金刚石,其磨削抛光至纳米表面精度难度极大。从镜坯转变为反射镜,需要靠光学加工、改性和镀膜,不仅国内现有的光学加工设备无法满足要求,国际上也没有可引进的此类装备。张学军介绍,长春光机所研制出适用于大口径碳化硅高精度制造的非球面数控加工中心,采用应力盘抛光、磁流变抛光等组合加工技术,在反射镜表面镀制和碳化硅相近的硅改性层,在此基础上进行精抛光,来达到非球面的制造精度、提升加工效率,实现了加工与检测技术自主可控。张学军说:“反射面镀膜的反射率达到95%以上,整体指标达到望远系统的要求,这相当于太空探测拍摄的图片质量,由‘卡片机’升级到加了一个高质量成像镜头的‘单反相机’。” 长春硅反射镜(2022更新中)(今日/展示)

长春硅反射镜(2022更新中)(今日/展示), MEMS :其英文全称为Micro-Electro-Mechanical System,是用微电子,即microelectronic 的技术手段制备的微型机械系统。个M 也代表器件的特征尺寸为微米量级,如果是纳米量级,相应的M 这个词头就有nano 来替代,变为NEMS ,纳机电。MEMS 及NEMS 是在微电子技术的基础上发展起来的,融合了硅微加工、LIGA 技术等的多种精密机械微加工方法,用于制作微型的梁、隔膜、凹槽、孔、反射镜、密封洞、锥、针尖、弹簧及所构成的复杂机械结构。SOI (Silicon-On-Insulator ,绝缘衬底上的硅)技术是在顶层硅和背衬底之间引入了一层埋氧化层。通过在绝缘体上形成半导体薄膜,SOI 材料具有了体硅所无法比拟的优点:可以实现集成电路中元器件的介质隔离,消除了体硅CMOS 电路中的寄生闩锁效应;采用这种材料制成的集成电路还具有寄生电容小、集成密度高、速度快、工艺简单、短沟道效应小及特别适用于低压低功耗电路等优势,因此可以说SOI 将有可能成为深亚微米的低压、低功耗集成电路的主流技术。 长春硅反射镜(2022更新中)(今日/展示)