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成都定做浅层气浮设备生产厂家

作者:197rcl 时间:2022-09-29 10:40:55

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以中电科为代表的的国内厂商,晶圆划片机取得了一定突破。以国产 12 英寸晶圆划片机为例,12 英 寸划片机具有多片切割、效率高、精度高、节约人力成本等特点,国内封装企业迫切需要便宜的 12 英寸 晶圆划片机。中电科在国家“02 专项”的支持下,从 2014 年投入研发 12 英寸划片机,突破双轴结构工作 台桥接技术、大直径薄晶圆传输技术、高刚度气浮主轴技术以及刀痕识别分析系统设计等关键技术。2017 年底在苏州晶方完成工艺验证,经过 2018 年一年的技术积累,在 2019 年取得重要技术突破和市场突破, 实现批量化生产,签订合同金额过千万元。